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四路混气系统

四路混气系统

图示产品型号为 GDT-MFC-4
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产品编号
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产品特点
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GD系列配气设备
配气设备
型号
类型
气路数(个)
GDT
台式
2~4
GBF
落地式
2以上
 
四路混气系统
 
       该供气系统是一种可通过质量流量计对不同气体分别调节流量,并混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置。质量流量计安装于密封的管路箱中,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制,此款设备与科幂品牌的各款管式炉配合使用。
 
 
技术参数
 
项目/型号 GDT-MFC-4
适配电源 220V 50HZ
流量计标准量程   100sccm/200sccm/200sccm/500sccm(非特殊定以氮气标定,量程可选)
工作温度 5~45℃
工作压差 0.1~0.5MPa
可达压力 3MPa
准确度 ±1.5% FS
测量范围 -0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)
针阀 316不锈钢
截止阀 316不锈钢针阀
尺寸 260*450*450 mm

 

GD系列配气设备选型表
类型 参数
选型代码
备注
流量计

 

玻璃转子型
GRF
 
质量流量型
MFC
2 2  
3 3
气路数 4 4
定制
--

 

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