产品中心
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产品特点
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产品特点
- 高性能射频电源.等离子体更稳定；
- 滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区；
- 可实现快速升温和降温功能；与传统CVD相比较，生长温度更低。
技术参数
| 项目 |
型号
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TFE - 1200 - 50 - 220
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可达温度
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1150℃（短期）
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额定温度
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1100℃
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推荐升温速率
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≤10℃/min
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控制精度
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±1℃
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炉管尺寸
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Φ30/50/60*1200mm
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炉膛尺寸
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Φ80*220mm
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加热区长度
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220mm
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恒温区长度
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80mm
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加热元件
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优质国产电阻丝
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额定功率
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3KW
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供气系统
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三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制）
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射频电源
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射频功：5-500W；射频频：13.56MHz；匹配方式：自动匹配
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真空系统
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双级旋片真空泵（可定制扩散泵 分子泵等）
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外形尺寸
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1250*510*810mm
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上一个
无
下一个
无
