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产品特点

高性能射频电源.等离子体更稳定;

滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区;

可实现快速升温和降温功能;与传统CVD相比较,生长温度更低。

 

技术参数

项目 型号 TFE - 1200 - 50 - 220
最高温度 1150℃(短期)
额定温度 1100℃
推荐升温速率 ≤10℃/min
控制精度 ±1℃
炉管尺寸 Φ30/50/60*1200mm
炉膛尺寸 Φ80*220mm
加热区长度 220mm
恒温区长度 80mm
加热元件 优质国产电阻丝
额定功率 3KW
供气系统

三路高精度MFC

量程0-500sccm(可定制)

射频电源

射频功:5-500W;

射频频:13.56MHz;

匹配方式:自动匹配

真空系统 双级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等)
外形尺寸 1250*510*810mm

 

具有钢结构工程专业承包二级资质、建筑工程施工总承包贰级资质;公司主营产品包括重钢、轻钢、网架及檩条、彩钢板等钢结构产品;近年来,公司承接了国内外大型结构件、桥梁、车库、标准化厂房等具有较大影响力的一系列项目;产品远销白俄罗斯、赞比亚、印尼等国家,得到了一致好评。

关键词: 单温区PE-CVD系统

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