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微型单温区CVD系统

图示产品型号为 TFC-1200-60-Ⅰ-440
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      微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一系列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。


产品特点

  • 双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C;
  • 高纯状氧化铝纤维绝缘层,节约能源;
  • 炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命。

 

技术参数

项目
型号
TFC - 1200 - 60 -- 440
炉管尺寸
Φ60*1000mm (Φ30/50/80/100mm可选)
可达温度
1200℃(短期)
工作温度
1100℃
推荐升温速率
≤10℃/min
加热区长度
440mm
额定功率
3kW
适配电源
AC220V 50Hz
温控系统
K型热电偶
集成式触摸屏控制
控温精度
±1 ℃
密封系统
炉管两端配有快开式密封法兰
外形尺寸
620*420*580mm
气体量程
100~1000SCCM
气路数量
 2~4路(MFC)
气路工作温度
 5~45℃
VRD-8
最大承载量:1000Lbs;抽气速率:10m³/h
极限真空度:10-1Pa
真空度
 

 

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