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单温区PE-CVD系统

单温区PE-CVD系统

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应用领域
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产品描述
参数

产品特点

高性能射频电源.等离子体更稳定;
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能;
与传统CVD相比较.生长温度更低。
 

技术参数

项目 型号 TFE - 1200 - 50 - Ⅰ - 220
最高温度 1150℃(短期)
额定温度 1100℃
推荐升温速率 ≤10℃/min
控制精度 ±1℃
炉管尺寸 Φ30/50/60*1200mm  
炉膛尺寸 Φ80*220mm
加热区长度 220mm
恒温区长度 80mm
加热元件 优质国产电阻丝
额定功率 3KW
供气系统 三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)
射频电源 射频功:5-500W;射频频:13.56MHz;匹配方式:自动匹配
真空系统 双级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等
外形尺寸 1250*510*810mm
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单温区PE-CVD系统

应用领域
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参数

产品特点

高性能射频电源.等离子体更稳定;
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能;
与传统CVD相比较.生长温度更低。
 

技术参数

项目 型号 TFE - 1200 - 50 - Ⅰ - 220
最高温度 1150℃(短期)
额定温度 1100℃
推荐升温速率 ≤10℃/min
控制精度 ±1℃
炉管尺寸 Φ30/50/60*1200mm  
炉膛尺寸 Φ80*220mm
加热区长度 220mm
恒温区长度 80mm
加热元件 优质国产电阻丝
额定功率 3KW
供气系统 三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)
射频电源 射频功:5-500W;射频频:13.56MHz;匹配方式:自动匹配
真空系统 双级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等
外形尺寸 1250*510*810mm
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