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产品描述
参数
产品特点
高性能射频电源.等离子体更稳定；
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能；
与传统CVD相比较.生长温度更低。
技术参数
| 项目 | 型号 | TFE - 1200 - 50 - Ⅰ - 220 | |
| 最高温度 | 1150℃（短期） | ||
| 额定温度 | 1100℃ | ||
| 推荐升温速率 | ≤10℃/min | ||
| 控制精度 | ±1℃ | ||
| 炉管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | ||
| 炉膛尺寸 | Φ80*220mm | ||
| 加热区长度 | 220mm | ||
| 恒温区长度 | 80mm | ||
| 加热元件 | 优质国产电阻丝 | ||
| 额定功率 | 3KW | ||
| 供气系统 | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） | ||
| 射频电源 | 射频功：5-500W；射频频：13.56MHz；匹配方式：自动匹配 | ||
| 真空系统 | 双级旋片真空泵（可定制扩散泵 分子泵等 | ||
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm | ||
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单温区PE-CVD系统
应用领域
产品特点
参数
产品特点
高性能射频电源.等离子体更稳定；
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能；
与传统CVD相比较.生长温度更低。
技术参数
| 项目 | 型号 | TFE - 1200 - 50 - Ⅰ - 220 | |
| 最高温度 | 1150℃（短期） | ||
| 额定温度 | 1100℃ | ||
| 推荐升温速率 | ≤10℃/min | ||
| 控制精度 | ±1℃ | ||
| 炉管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | ||
| 炉膛尺寸 | Φ80*220mm | ||
| 加热区长度 | 220mm | ||
| 恒温区长度 | 80mm | ||
| 加热元件 | 优质国产电阻丝 | ||
| 额定功率 | 3KW | ||
| 供气系统 | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） | ||
| 射频电源 | 射频功：5-500W；射频频：13.56MHz；匹配方式：自动匹配 | ||
| 真空系统 | 双级旋片真空泵（可定制扩散泵 分子泵等 | ||
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm | ||
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