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微型单温区CVD系统

微型单温区CVD系统

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应用领域
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产品描述
参数

微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一系列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。

产品特点

双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C;
高纯状氧化铝纤维绝缘层,节约能源;
炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命。

项目 型号 TFC - 1200 - 60 -Ⅰ- 440
炉管尺寸 Φ60*1000mm (Φ30/50/80/100mm可选)
最高温度 1200℃(短期)
工作温度 1100℃
推荐升温速率 ≤10℃/min
加热区长度 440mm
额定功率 3kW
适配电源 AC220V 50Hz
温控系统 K型热电偶
集成式触摸屏控制
控温精度 ±1 ℃
密封系统 炉管两端配有快开式密封法兰
外形尺寸 620*420*580mm
气体量程 100~1000SCCM
气路数量 2~4路(MFC)
气路工作温度 5~45℃
VRD-8 最大承载量:1000Lbs;抽气速率:10m³/h
极限真空度:10-1Pa
真空度 双极旋片机械泵:极限10^-1Pa
分子泵机组:极限10^-3 Pa
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微型单温区CVD系统

应用领域
产品特点
参数

微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一系列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。

产品特点

双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C;
高纯状氧化铝纤维绝缘层,节约能源;
炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命。

项目 型号 TFC - 1200 - 60 -Ⅰ- 440
炉管尺寸 Φ60*1000mm (Φ30/50/80/100mm可选)
最高温度 1200℃(短期)
工作温度 1100℃
推荐升温速率 ≤10℃/min
加热区长度 440mm
额定功率 3kW
适配电源 AC220V 50Hz
温控系统 K型热电偶
集成式触摸屏控制
控温精度 ±1 ℃
密封系统 炉管两端配有快开式密封法兰
外形尺寸 620*420*580mm
气体量程 100~1000SCCM
气路数量 2~4路(MFC)
气路工作温度 5~45℃
VRD-8 最大承载量:1000Lbs;抽气速率:10m³/h
极限真空度:10-1Pa
真空度 双极旋片机械泵:极限10^-1Pa
分子泵机组:极限10^-3 Pa
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