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产品描述
参数
| 项目 | 型号 | TFC - 1400 - 60 - Ⅰ- 400 |
| 适配电源 | 220V 50/60Hz | |
| 外形尺寸 | 700*650*750mm | |
| 额定功率 | 6.5kW | |
| 炉管尺寸 | 石英管Ø60*1000mm（Ø30/50/80/100） | |
| 气路 | 质量流量计：进气控制由质量流量计控制 量程是0-100sccm（可定制） 真空压力表：-0.1-0.15MPa |
|
| 温控系统 | S型热电偶 7寸集成式触摸屏控制 | |
| 温度控制 | 0-1300℃（温度可定制） | |
| 气路数量 | 1-3路（MFC） | |
| 工作气体 | 空气、氮气和惰性气体 不可通入易燃易爆性气体 | |
| 混气罐容量 | 1L | |
| 数据 | 可用U盘导出数据 | |
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三路混气高温炉
应用领域
产品特点
参数
| 项目 | 型号 | TFC - 1400 - 60 - Ⅰ- 400 |
| 适配电源 | 220V 50/60Hz | |
| 外形尺寸 | 700*650*750mm | |
| 额定功率 | 6.5kW | |
| 炉管尺寸 | 石英管Ø60*1000mm（Ø30/50/80/100） | |
| 气路 | 质量流量计：进气控制由质量流量计控制 量程是0-100sccm（可定制） 真空压力表：-0.1-0.15MPa |
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| 温控系统 | S型热电偶 7寸集成式触摸屏控制 | |
| 温度控制 | 0-1300℃（温度可定制） | |
| 气路数量 | 1-3路（MFC） | |
| 工作气体 | 空气、氮气和惰性气体 不可通入易燃易爆性气体 | |
| 混气罐容量 | 1L | |
| 数据 | 可用U盘导出数据 | |
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